2013年我國藍寶石晶體的技術狀況分析
中國產業(yè)研究報告網訊:
①藍寶石晶體生長技術
藍寶石生長方法較多,包括泡生法、熱交換法、提拉法、導模法、坩堝下降法、水平區(qū)熔法、火焰法。
目前,產業(yè)化、大尺寸的藍寶石晶體的生長以泡生法為主,但能耗較高、一次性投資較大;采用熱交換法生長的藍寶石晶體質量好,但生長成本高;采用提拉法生長的藍寶石晶體尺寸有限、成本較高;成熟且能滿足LED 襯底要求的導模法技術主要由日本京瓷公司掌握;火焰法是滿足低端藍寶石應用的主要方法;水平區(qū)熔法在晶體尺寸、質量、成本上均無優(yōu)勢;坩堝下降法能生長大尺寸藍寶石晶體,且在生長成本上具有較大的優(yōu)勢,但有一定的技術難度。
泡生法生長原理示意圖如下:
泡生法是目前生長大尺寸藍寶石的主要方法之一,其使用鎢棒電阻加熱,鉬反射屏保溫。泡生法的生長原理與提拉法類似,先將原料加熱至熔點,然后下籽晶接觸熔體,籽晶以極其緩慢的速度往上拉升,一段時間后長出晶頭(即放肩),待固液界面的凝固速率穩(wěn)定后,籽晶桿便不再拉升,也不做旋轉,僅以控制冷卻速率的方式來使晶體從上方逐漸往下凝固,最后長成一個完整晶錠。
內容選自產業(yè)研究報告網發(fā)布的《2013-2017年中國電力晶體管市場分析及投資方向研究報告》
泡生法是利用溫度控制來生長晶體的,它與提拉法最大的差異是只拉出放肩部分,等徑部分靠溫度變化來生長,并在放肩的同時,調整加熱電壓,使熔體達到最合適的溫度范圍,讓生長速度達到最理想化,長出品質最理想的藍寶石單晶。
②藍寶石晶體及元器件加工技術
藍寶石晶體及元器件的加工主要包括晶圓棒的加工、毛坯晶圓片的切割和毛坯晶圓片的研磨拋光。晶圓棒的加工方式是以銑磨加工為主,主要以提高晶圓棒的晶向精度為主要發(fā)展方向。目前全世界用于藍寶石毛坯晶圓片切割的設備基本為多線切割機,不僅可大大降低對晶體材料的損耗,還可獲得較高的表面質量。此外,目前已有廠商研發(fā)生產了專門針對藍寶石的多線切割機,切割的厚度可在0.3mm 左右,厚度均勻性好,偏差在0.02mm 以下;藍寶石晶圓片的加工工藝以雙面研磨單面拋光為主,這種加工方式現(xiàn)在正在朝著高效率、低成本、高表面質量發(fā)展。
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- 2016年10月中國核能發(fā)電量產量分省市統(tǒng)計表
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