東京電子推出晶圓級(jí)電容式MEMS測試機(jī)臺(tái)
東京電子（TEL）在2008年度Semicon-Japan上推出TEMEON?系列之一的晶圓級(jí)MEMS測試機(jī)臺(tái)TEMEON?-C，用于電容式讀出MEMS器件。
在2006年，TEL推出針對(duì)壓阻式MEMS傳感器晶圓級(jí)測試的TEMEON?-M ，并已進(jìn)入量產(chǎn)。針對(duì)目前更為復(fù)雜的電容式MEMS器件，TEMEON?-C可實(shí)現(xiàn)在晶圓級(jí)對(duì)加速度計(jì)和陀螺儀等器件精確的電容測量。
TEMEON?-C使用TEL的專利技術(shù)去除寄生電容以實(shí)現(xiàn)在任何測試環(huán)境下在晶圓級(jí)精確穩(wěn)定地量測fF (femto Farad) 量級(jí)的靜態(tài)電容。TEMEON?-C還可以直接量測動(dòng)態(tài)電容以及MEMS結(jié)構(gòu)的物理位移，反饋共振頻率和品質(zhì)因子（Q-Value），以及通過/失效結(jié)果。
在2006年，TEL推出針對(duì)壓阻式MEMS傳感器晶圓級(jí)測試的TEMEON?-M ，并已進(jìn)入量產(chǎn)。針對(duì)目前更為復(fù)雜的電容式MEMS器件，TEMEON?-C可實(shí)現(xiàn)在晶圓級(jí)對(duì)加速度計(jì)和陀螺儀等器件精確的電容測量。
TEMEON?-C使用TEL的專利技術(shù)去除寄生電容以實(shí)現(xiàn)在任何測試環(huán)境下在晶圓級(jí)精確穩(wěn)定地量測fF (femto Farad) 量級(jí)的靜態(tài)電容。TEMEON?-C還可以直接量測動(dòng)態(tài)電容以及MEMS結(jié)構(gòu)的物理位移，反饋共振頻率和品質(zhì)因子（Q-Value），以及通過/失效結(jié)果。
行業(yè)分類
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統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)
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- 2016年10月中國發(fā)電量產(chǎn)量分省市統(tǒng)計(jì)表
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