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世界TFT-LCD設(shè)備大廠發(fā)展動(dòng)向及未來(lái)展望分析

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一、前言
根據(jù)Semiconductor FPD World于2008年六月所公布的數(shù)據(jù)，2007年全球FPD市場(chǎng)較2006年成長(zhǎng)20%以上，達(dá)1,020億美元規(guī)模，一舉刷新歷史紀(jì)錄。2008年可望繼續(xù)成長(zhǎng)20%以上，市場(chǎng)規(guī)模可望達(dá)1,200億美元。
 
2000年以后，F(xiàn)PD市場(chǎng)每年都有2位數(shù)成長(zhǎng)的亮麗表現(xiàn)，一再地顯示驚人的成長(zhǎng)力道。但從應(yīng)用普及率的觀點(diǎn)來(lái)看，在2009年以后，將進(jìn)入成長(zhǎng)緩慢的成熟期。分析2007年度應(yīng)用部門(mén)別中的TFT-LCD的滲透率，發(fā)現(xiàn)數(shù)字相機(jī)/數(shù)字?jǐn)z影機(jī)為100%，手提電腦為100%，桌上型屏幕為91%，可攜式播放裝置為91%，游戲機(jī)為89%，手機(jī)為59%，電視為49%。
 
根據(jù)日本半導(dǎo)體制造設(shè)備協(xié)會(huì)（SEAJ）所公布的調(diào)查報(bào)告，2007年日本制的FPD制程設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模減少34%，約3,583億日?qǐng)A。原因是從2006年后半年起，面板的供需失去平衡，并陷入供過(guò)于求極大落差的狀態(tài)，從2006年后半年起到2007年期間，所有面板廠商都重新檢討投資計(jì)劃，結(jié)果造成市場(chǎng)規(guī)模大幅度縮減超過(guò)30%。不過(guò)，進(jìn)入2008年后，市場(chǎng)將出現(xiàn)V字型逆向成長(zhǎng)，這一波的成長(zhǎng)幅度可望達(dá)46%。
  
二、國(guó)際大廠動(dòng)向
1、ULVAC
CF濺鍍?cè)O(shè)備訂單增加
2007年度(2007年7月至2008年6月)FPD相關(guān)制程設(shè)備的營(yíng)業(yè)額約為1,200億日?qǐng)A。除重新啟動(dòng)臺(tái)灣的投資之外，日本、韓國(guó)的大型設(shè)備投資也十分活躍。不過(guò)，受到2006年度未交貨數(shù)以及2007年度Q1訂單減少的影響，營(yíng)收預(yù)測(cè)只能維持當(dāng)初預(yù)測(cè)水平。
 
ULVAC的主力產(chǎn)品為八代Array段的濺鍍?cè)O(shè)備，但在彩色濾光片(CF)的濺鍍?cè)O(shè)備因具嶄新的概念，已陸續(xù)接獲訂單。該設(shè)備的特色為將取放玻璃基板的裝置改為單純的結(jié)構(gòu)，提高信賴(lài)度；并在成膜時(shí)，可同時(shí)進(jìn)行兩片基板的作業(yè)，也提高生產(chǎn)效率。除了高精確度外，ULVAC也安裝樣品機(jī)，讓客戶(hù)實(shí)際評(píng)價(jià)機(jī)器的性能。
 
短時(shí)間完成大型設(shè)備安裝
因十代大型設(shè)備已開(kāi)始出貨，不論是Array或是CF所使用的濺鍍?cè)O(shè)備，都必須趕緊完工。此外，面臨海外八代玻璃基板設(shè)備move in陸續(xù)增加，ULVAC將繼續(xù)努力提高產(chǎn)能。今后希望能實(shí)現(xiàn)短時(shí)間完成安裝設(shè)立，以幫助客戶(hù)盡早進(jìn)入量產(chǎn)階段。
 
研發(fā)的重點(diǎn)部門(mén)與目標(biāo)
在LCD部門(mén)中，在CF制造或是PI配向膜形成上，提出噴墨法的應(yīng)用，未來(lái)將持續(xù)專(zhuān)注于此技術(shù)的研發(fā)。
 
2、AKT
投入PVD新機(jī)種市場(chǎng)
2007年的成果有：(1)導(dǎo)入可有效減少面板制造時(shí)產(chǎn)生CoO的新型Array濺鍍?cè)O(shè)備「AKT-PiVot」；(2)在PECVD設(shè)備與CF的濺鍍?cè)O(shè)備中，堅(jiān)持市場(chǎng)領(lǐng)先者的定位，提高EBT檢查設(shè)備的市場(chǎng)占有率；(3)在客戶(hù)集中的亞洲地區(qū)擴(kuò)大服務(wù)與制造部門(mén)等。
 
2007年10月正式發(fā)表并導(dǎo)入市場(chǎng)的「AKT-PiVot 55KV PVD」，系8.5代專(zhuān)用的Array濺鍍?cè)O(shè)備，采用群組概念，是一種可彈性地因應(yīng)各種生產(chǎn)型態(tài)的模塊組成設(shè)備，采用卷取式陰極管，擁有極佳的使用效率，可大幅度縮減營(yíng)運(yùn)成本。該設(shè)備目前已出貨給面板廠商。2007年度大部分營(yíng)業(yè)額來(lái)自PECVD設(shè)備的營(yíng)收。
 
2008年擴(kuò)充產(chǎn)品陣容 專(zhuān)注G10設(shè)備的開(kāi)發(fā)與交貨
 
2008年的目標(biāo)，包括第10代在內(nèi)，將在TFT-LCD的制程或是檢查等項(xiàng)目，擴(kuò)大供應(yīng)的產(chǎn)品種類(lèi)。并專(zhuān)注十代設(shè)備的研發(fā)與交貨，以及繼續(xù)推動(dòng)更省成本的技術(shù)研發(fā)。
 
3、Canon
2007年為i線，以KrF為主
受到日本、韓國(guó)以及臺(tái)灣廠商進(jìn)行次世代建廠投資計(jì)劃的牽動(dòng)，2007年12月份曝光設(shè)備市場(chǎng)有較高的成長(zhǎng)。但因內(nèi)存價(jià)格的滑落，下半年進(jìn)入成長(zhǎng)趨緩的循環(huán)，整個(gè)市場(chǎng)規(guī)模的總臺(tái)數(shù)比前年度略為減少，Canon只有179臺(tái)的成績(jī)，略低于前年度。
 
另一方面，Canon也將新開(kāi)發(fā)的「FPA-7000系列」開(kāi)始投入市場(chǎng)。目前也正在推動(dòng)浸潤(rùn)式曝光設(shè)備「FPA-7000AS」的顧客制程與配合的設(shè)備評(píng)價(jià)。因此，2007年的銷(xiāo)售活動(dòng)主要以i線或是KrF為主。
 
此外，提升設(shè)備的生產(chǎn)速率與縮短安裝時(shí)程是目前Canon所面對(duì)的課題。
 
4、日立High Technologies
主要部門(mén)的營(yíng)業(yè)額穩(wěn)定成長(zhǎng)
該公司的設(shè)備事業(yè)以測(cè)量、檢查、分析設(shè)備為核心，半導(dǎo)體制造設(shè)備相關(guān)與LCD制造相關(guān)部門(mén)的電子裝置系統(tǒng)部門(mén)的2007年度營(yíng)業(yè)額已超越2006年度，成長(zhǎng)1.0%，達(dá)到2,648億日?qǐng)A。但2008年度的市占率預(yù)估會(huì)減少11.4%，達(dá)到2,345億日?qǐng)A。
 
透過(guò)研發(fā)，呈現(xiàn)最佳成果
為因應(yīng)細(xì)微化、材料、制程多樣化所衍生并日趨重要的制程、檢查、分析的需求，該公司將繼續(xù)推動(dòng)適合的基礎(chǔ)技術(shù)與應(yīng)用技術(shù)的研發(fā)過(guò)程。
 
5、V-Technology
2007年度負(fù)成長(zhǎng)
雖然2007年夏季前市場(chǎng)開(kāi)始恢復(fù)活力，設(shè)備投資計(jì)劃也隨之復(fù)蘇，但由于設(shè)備交貨時(shí)間系自2008年初，因此對(duì)2007年度的營(yíng)業(yè)額的貢獻(xiàn)十分有限，故2007年度營(yíng)業(yè)額比起前年度大幅滑落(營(yíng)業(yè)額約為65億日?qǐng)A)。另一方面，新產(chǎn)品的曝光設(shè)備評(píng)價(jià)也告一段落，邁入可采用量產(chǎn)的階段。
 
2007年主要營(yíng)業(yè)額來(lái)自于檢查、測(cè)量、修正設(shè)備的營(yíng)收。新制品的非接觸三次元表面形狀測(cè)量設(shè)備「Polaris」也有了CF(G8尺寸)的業(yè)界實(shí)績(jī)。
 
2008年的重點(diǎn)
(1)針對(duì)TFT業(yè)界，強(qiáng)化既有產(chǎn)品的檢查、測(cè)量、修正設(shè)備的推廣。
 
(2)強(qiáng)化曝光設(shè)備評(píng)價(jià)機(jī)器從交貨到生產(chǎn)在線的推廣。另外，國(guó)內(nèi)外LCD廠商因?yàn)榇笮蚅CD-TV的普及，2007年后半年起已經(jīng)籌劃了新設(shè)備的建設(shè)計(jì)劃。在此同時(shí)，該公司已接獲國(guó)內(nèi)外面板以及CF廠商總共65億日?qǐng)A的測(cè)量、檢查等設(shè)備的訂單，預(yù)定于2009年3月以及2010年3月之前交貨。
 
2008年的研發(fā)重點(diǎn)將放在提升曝光設(shè)備的效率、性能和NEDO項(xiàng)目的研發(fā)上。
 
2008年以后的FPD產(chǎn)業(yè)、市場(chǎng)展望
FPD市場(chǎng)自2008年至2009年為止，應(yīng)會(huì)維持橫向持平的狀態(tài)，但是10年以后反而滑落，之后預(yù)估應(yīng)會(huì)以稍微減少的趨勢(shì)持平。

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