2013年我國微納光學制造行業(yè)核心技術水平與發(fā)展趨勢
中國產(chǎn)業(yè)研究報告網(wǎng)訊:
微納光學制造的核心是光刻技術,而體現(xiàn)一家公司技術水平高低的關鍵是光刻設備的研發(fā)與制造能力。光刻設備包括激光直寫設備和干涉光刻設備兩大類,廣泛用于微納光學制版等高技術領域。
在光刻設備技術方面,目前面臨的主要問題是:運行速度慢,僅在平面上實現(xiàn)了微納光刻。由于設備制造上的困難,限制了向大幅面發(fā)展的速度。從行業(yè)發(fā)展趨勢來看,大幅面、微尺寸、無接縫的光刻技術是未來行業(yè)發(fā)展的方向。
在單光束激光直寫設備研制方面,德國海德堡公司單光束直寫設備分辨率大于1um,美國Anvik 公司投影式高速激光刻蝕設備分辨率為5-8um,這兩款設備均為微納光學制造行業(yè)的重要設備。國內(nèi)企業(yè)多數(shù)還集中在普通激光加工領域,分辨率為30um。
內(nèi)容選自產(chǎn)業(yè)研究報告網(wǎng)發(fā)布的《2013-2017年中國各種光學薄膜市場運行分析及發(fā)展策略研究報告》
在雙光束干涉光刻設備的研制方面,美國ITW 公司的iScan 僅實現(xiàn)了低分辨率(100dpi,A4 幅面)激光圖像原版高速制造。在國內(nèi),蘇州蘇大維格光電科技股份有限公司研制的HoloMakerIII(150mm*150mm)成為國內(nèi)微納光學制造業(yè)的關鍵設備;研制的寬幅紫外DPSSL 高速干涉與直寫混合光刻設備,實現(xiàn)了65 寸大幅面下5080dpi 高分辨率微結構圖形(400nm 線對)的快速(500mm/s)極限制造,運行效率比傳統(tǒng)激光直寫提高數(shù)十倍以上,是行業(yè)內(nèi)較好的指標。
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- 2016年10月中國彩色電視機產(chǎn)量分省市統(tǒng)計表
- 2016年10月中國集成電路產(chǎn)量分省市統(tǒng)計表